1.  功能與參數

流量單位與標定

質量流量計常用氮氣(N2)標定。

質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分)；SLM(標準升/分)

標準狀態規定為:  溫度 T=273. 15K (0℃)；壓力 P= 101.325KPa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale):  滿量程值

適用介質參數

適用介質:  空氣、氧氣、氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、硅烷、氨氣、三氯氧磷、三氟化氮，或其他 氣體

氣體壓力 : <1.6Mpa

氣體溫度: -20~60。C (常溫型)

氣體溫度: -120~200。C (耐溫型)

流量范圍: ( 1) 10, 30, 50, 100, 300, 500SCCM; (2) 1, 3, 5, 10, 30SLM; (3) 100, 300, 500, 1000SLM

測量性能參數

耐壓: 1.6MPa

響應時間: < 20ms

精度: ( 1)± 1% F.S., (2)± 2% F.S.

重復性: < 0.25% F.S.

靈敏度: < 0. 1% F.S.

零漂: < 0. 1% F.S.

壓損: 3kPa (滿量程)

漏率: 1×10-10 Pa?m3/sec He

質量流量計電氣參數

電源: DC24V

功耗: <48 mW

連接:  引線連接

通訊

模擬輸出: 4~20mA

數字輸出: Modbus RTU RS485

連接:  引線連接